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在氣體管道工程中，由于施工中的各種因素，在一些管道的連接處可能會有一些肉眼難以察覺的小孔，使用時(shí)會導(dǎo)致泄漏，造成事故。特別是在半導(dǎo)體、集成電路等微電子行業(yè)中，如果發(fā)生泄漏，輸送超高純電子特殊氣體的燃?xì)夤艿拦こ虒ιa(chǎn)安全產(chǎn)生很大影響，因此檢漏非常重要。

一.常說的氦檢是什么？

首先，我們要了解，氣體管道的五項(xiàng)測試是QC中最重要的一部分，這五項(xiàng)測試分別是：保壓測試、武漢氦氣檢漏測試（氦檢）、水分測試、氧分測試和顆粒測試，確保氣體管道系統(tǒng)的品質(zhì)達(dá)到一定的水準(zhǔn)和滿足客戶的需求。

二.武漢氦氣是如何檢漏的呢？

眾所周知，在元素周期表中，氦（He）的相對分子質(zhì)量是除氫（H）以外最小的，是最輕的惰性氣體。氣體管道的武漢氦氣檢漏（氦檢）利用的就是這一點(diǎn)。

1.高純度散裝氣體管道武漢氦氣檢漏方法應(yīng)采用向內(nèi)檢漏法、閥座檢漏法和向外檢漏法。

2.向內(nèi)檢漏法（武漢氦氣注入法）是通過內(nèi)部吸入高純度氣體管線，外部噴射武漢氦氣來進(jìn)行的

3.檢測閥座泄漏的方法必須在閥門前充入武漢氦氣，并在下游抽真空

4.必須使用朝外檢漏法（吸槍法）在高純度氣體管線內(nèi)填充武漢氦氣或氦氮混合物，并使用外部吸槍檢查可能的泄漏點(diǎn)

5.氦檢漏儀必須是質(zhì)譜氦檢漏器，檢測精度不低于1

6.高純氣體武漢氦氣檢漏的泄漏率應(yīng)符合下列要求：

（1）通過向內(nèi)泄漏檢測方法測得的泄漏率不得超過1.10-9 mbar l/s

（2）閥座泄漏檢測法測得的泄漏率不得超過1.10-6mbar l/s

（3）向外泄漏檢測法測得的泄漏率不得超過1.10-6mbar l/s

7.氦檢漏發(fā)現(xiàn)的泄漏點(diǎn)修復(fù)后，必須重新進(jìn)行氣密性試驗(yàn)，合格后，再按規(guī)定進(jìn)行氦檢漏

8.所有可能的泄漏應(yīng)使用塑料袋進(jìn)行隔熱

9.系統(tǒng)測試后，用高純度氮?dú)饣驓鍤馓畛浜颓鍧?/p>

10.檢查后，應(yīng)提交試驗(yàn)報(bào)告