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氦質譜檢漏儀是一種質譜儀，使用高純度氦作為泄漏氣體，并使用氣體分析儀檢測氦進行泄漏檢測。是國內外應用的先進真空罐檢漏技術。與常規檢漏技術相比，

氦質譜檢漏技術具有快速、準確、靈敏度高、無損傷等優點。氦質譜檢漏儀的示蹤氣體也可以是其他元素。然而，

通常使用氦，因為它具有以下特性：

1.空氣中的氦含量很低，只有約120萬，很容易找到；

2.氦分子小，重量輕，易于擴散，比其他氣體更容易通過泄漏孔；

3.氦離子的荷質比小，易于質譜分析；

4.氦無毒無味，對大氣無污染。

5.氦氣是一種化學性質穩定的惰性氣體，不會腐蝕和損壞設備；

6.氦無毒、不凝結，極難在水中儲存。

由于氦具有上述特性，科研機構已將氦泄漏檢測應用于工業企業，甚至個人企業。可以說，應用領域非常廣泛。